[发明专利]氮氧化硅梯度构思

摘要

本公开内容的实施方式一般涉及用于在液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)及有机发光二极管(organic light‑emitting diode,OLED)显示器中使用低温多晶硅(low temperature polysilicon,LTPS)薄膜晶体管的方法及装置。

主权项

一种薄膜晶体管，包括：基板；两个双层，所述两个双层布置于所述基板之上，各所述双层包括：第一无机层，所述第一无机层具有第一折射率；第二无机层，所述第二无机层具有第二折射率，所述第一折射率系小于所述第二折射率；以及过渡堆叠结构，所述过渡堆叠结构布置于所述第一无机层与所述第二无机层之间，所述过渡堆叠结构包括至少第三无机层及第四无机层，其中：所述第三无机层布置于所述第一无机层上且具有第三折射率；所述第四无机层布置于所述第三无机层上且具有第四折射率；所述第三折射率大于所述第一折射率且小于所述第四折射率；以及所述第四折射率大于所述第三折射率且小于所述第二折射率。