[发明专利]用于膜架传送机的改进型弹簧垫有效

专利信息
申请号: 201680023676.X 申请日: 2016-03-14
公开(公告)号: CN107534006B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: J·T·斯蒂芬斯;R·V·拉施克 申请(专利权)人: 恩特格里斯公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 顾晨昕
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明揭示一种膜架传送机,其对膜架在膜架传送机内的跳动提供增强的预防。此外,防止跳动的结构还在装载到所述传送机中期间加强所述膜架的对准。此外,在某些实施例中,此类结构实现膜架的厚度与配准槽之间的较紧密公差配合,由此减少所述膜架与所述配准槽之间的游隙及伴随的颗粒产生。
搜索关键词: 用于 传送 改进型 弹簧
【主权项】:
一种膜架传送机,其包括:容器;盖,其在所述容器部上方形成闭合以界定内部腔室;弹簧架垫,其耦合到所述容器及所述盖中的至少一者,所述弹簧架包含相对侧壁,所述相对侧壁在前/后方向上延伸且支撑主垫部,所述主垫部界定多个配准槽,所述多个配准槽中的每一者在与所述前/后方向正交的横向方向上延伸且适于卡住膜架的外边缘以限制所述膜架在所述前/后方向上的移动;及第一梳状结构,其包含多个第一梳状突起,所述多个第一梳状突起在垂直方向上从所述弹簧架垫的所述相对侧壁中的第一者延伸,所述多个第一梳状突起彼此间隔开以界定多个第一梳状间隙,所述垂直方向与所述前/后方向正交且与所述横向方向正交,其中所述多个第一梳状突起中的相邻者适于啮合及接纳所述膜架的所述外边缘,且所述多个第一梳状间隙中的每一者界定在所述第一梳状结构的所述第一梳状突起中的相邻者之间,所述多个所述第一梳状间隙中的每一者适于卡住所述膜架的所述外边缘以限制所述外边缘在所述前/后方向上的移动,且其中所述多个配准槽中的每一者在所述横向方向上与所述多个第一梳状间隙中的相应者对准。
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