[发明专利]固态摄像装置及其制造方法和电子设备

摘要

本发明涉及能够使装置尺寸进一步变小的固态摄像装置及其制造方法和电子设备。固态摄像装置包括第一结构和第二结构的层叠体，在第一结构中形成有像素阵列单元，在像素阵列单元中二维地排列有用于执行光电转换的像素，在第二结构中形成有用于将从像素输出的像素信号输出至装置外部的输出电路单元。输出电路单元、贯穿用于构成第二基板的一部分的半导体基板的第一通孔以及连接至装置外部的信号输出用外部端子设置在第一结构的像素阵列单元的下方。本发明能够应用于例如固态摄像装置等。

主权项

一种固态摄像装置，其包括：第一结构、位于所述第一结构的上方的玻璃基板和位于所述第一结构的下方的第二结构的层叠体，在所述第一结构中形成有像素阵列单元，在所述像素阵列单元中二维地排列有用于执行光电转换的像素，在所述第二结构中形成有输入电路单元、输出电路单元和信号处理电路，所述输入电路单元用于允许预定信号被从所述装置的外部输入，所述输出电路单元用于将从所述像素输出的像素信号输出至所述装置的外部，其中，输出单元和输入单元设置在所述第一结构的所述像素阵列单元的下方，所述输出单元包括所述输出电路单元、第一通孔和信号输出用外部端子，所述第一通孔连接至所述输出电路单元并贯穿用于构成所述第二结构的一部分的半导体基板，所述信号输出用外部端子通过所述第一通孔将所述输出电路单元连接至所述装置的外部，所述输入单元包括所述输入电路单元、第二通孔和信号输出用外部端子，所述第二通孔连接至所述输入电路单元并贯穿所述半导体基板，所述信号输出用外部端子通过所述第二通孔将所述输入电路单元连接至所述装置的外部。