[发明专利]屏蔽板以及测定装置在审

专利信息
申请号: 201680030413.1 申请日: 2016-05-24
公开(公告)号: CN107615025A 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 中村共则 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01J5/48 分类号: G01J5/48;G01J5/00;G01J5/06
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 屏蔽板是半导体器件的温度的非接触测定所涉及的屏蔽板,具备能够调整温度的基材,位于基材的一侧的黑体面的热放射量大于位于黑体面的相反侧的反射面的热放射量,黑体面是放出红外线的黑体面。
搜索关键词: 屏蔽 以及 测定 装置
【主权项】:
一种屏蔽板,其特征在于:是用于测定对象的温度的非接触测定的屏蔽板,具备能够调整温度的基材,位于所述基材的一侧的第1面的热放射量大于位于所述第1面的相反侧的第2面的热放射量,所述第1面是放射红外线的黑体面。
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