[发明专利]曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法有效
申请号: | 201680030852.2 | 申请日: | 2016-05-26 |
公开(公告)号: | CN107615170B | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 川岛洋德 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B3/00;G02B19/00 |
代理公司: | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人: | 吴立;邹轶鲛 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 包括:灯单元(60);具有排列为p行、q列的矩阵状的多个透镜元件(65a)的蝇眼透镜(65);包括变更反射面的形状的反射镜变形单元(70)的平面镜(68);以及滤光器(90),其具有:排列为p‑2~p+2行、q‑2~q+2列的矩阵状,并分别具有同一透光率分布的多个单元(91),滤光器(90)配置在灯单元(60)与蝇眼透镜(65)之间,能在与光路(EL)垂直的方向移动。 | ||
搜索关键词: | 曝光 照明 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种曝光用照明装置,包括:光源;蝇眼透镜,其具有排列为p行、q列(p、q是整数)的矩阵状的多个透镜元件,使来自所述光源的光均匀地射出;以及反射镜,其包括能变更反射面的形状的镜弯曲机构,将从所述蝇眼透镜射出的所述光反射,经由形成有曝光图案的掩模,将来自所述光源的曝光光照射在工件上,将所述曝光图案曝光转印在所述工件,所述曝光用照明装置的特征在于,还包括滤光器,所述滤光器配置在所述光源与所述蝇眼透镜之间,能变更在曝光面的照度分布,所述滤光器具有排列为p‑2~p+2行、q‑2~q+2列的矩阵状,并分别具有透光率分布的多个单元,所述滤光器能在与所述光的光轴垂直的方向移动。
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