[发明专利]光扫描装置

摘要

控制电路(3)具有：角速度计算器(34)，基于角度测量部(17b、17c)测量出的反射镜(11)的角度，计算反射镜的角速度；目标角速度计算器(35)，计算角速度的目标值；共振频率检测器(33a)，使用角速度及目标值检测反射镜的振动的频率；驱动波形生成器(31)，生成锯齿波状的驱动信号；不要振动控制器(32)，基于共振频率检测器检测出的频率进行驱动信号的优化，以减轻反射镜的不需要振动，将与优化后的驱动信号对应的电压向压电元件(152)施加。共振频率检测器使用从驱动波形生成器向不要振动控制器发送锯齿波状的驱动信号的期间中的角速度的波形及目标值检测反射镜的振动的频率。

主权项

一种光扫描装置，具备：反射镜(11)，使光束在反射面(11a)中反射；各支承梁(12)，在上述反射面的平面中的一方向的两侧分别延伸设置，将上述反射镜两端支承；共振驱动部(13)，通过使上述支承梁分别共振振动，使上述反射镜绕平行于上述一方向的第1轴(A1)摆动；强制驱动部(15)，通过向压电元件(152)施加电压，使上述反射镜绕朝向与上述一方向不同的方向的第2轴(A2)摆动；角度测量部(17b、17c)，测量上述反射镜的绕上述第2轴的角度；以及控制电路(3)，向上述压电元件施加与上述角度测量部的输出对应的电压；上述控制电路具有：角速度计算器(34)，基于上述角度测量部测量出的上述反射镜的角度计算上述反射镜的绕上述第2轴的角速度；目标角速度计算器(35)，计算上述角速度的目标值；共振频率检测器(33a)，使用上述角速度及上述目标值，检测上述反射镜的绕上述第2轴的振动的频率；驱动波形生成器(31)，生成锯齿波状的驱动信号；以及不要振动控制器(32)，基于上述共振频率检测器检测出的上述反射镜的振动的频率，进行上述驱动信号的优化以减轻上述反射镜的绕上述第2轴的不需要振动，向上述压电元件施加与优化的上述驱动信号对应的电压；上述共振频率检测器使用从上述驱动波形生成器向上述不要振动控制器发送锯齿波状的上述驱动信号的期间中的上述反射镜的角速度的波形以及上述目标值，检测上述反射镜的振动的频率。