[发明专利]用于迭代缺陷分类的方法及系统有效
| 申请号： | 201680032123.0 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN107690671B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 桑卡·梵卡泰若曼;贺力;约翰·R·约尔丹三世;哈什·辛哈;O·T·巴里斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 缺陷分类包含：获取包含多个缺陷的样本的一或多个图像；基于所述缺陷的属性将所述缺陷分组成缺陷类型群组；从用户接口装置接收指示来自所述群组的选定数目个缺陷的第一手动分类的信号；基于所述第一手动分类及所述缺陷的所述属性产生分类器；使用所述分类器对未由所述手动分类手动分类的一或多个缺陷分类；识别由所述分类器分类的具有最低置信度的所述缺陷；从所述用户接口装置接收指示具有所述最低置信度的所述缺陷的额外手动分类的信号；确定所述额外手动分类是否识别在所述第一手动分类中未识别的一或多个额外缺陷类型；及迭代过程直到未发现新缺陷类型。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 缺陷 分类 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于缺陷分类的方法，其包括：获取样本的一或多个图像，所述一或多个图像包含多个缺陷；基于所述缺陷的一或多个属性将所述多个缺陷的至少一部分中的每一者分组成两个或两个以上缺陷类型群组中的每一者；从用户接口装置接收指示来自所述两个或两个以上缺陷类型群组中的每一者的选定数目个缺陷的第一手动分类的信号；基于所述经接收的第一手动分类及所述缺陷的所述属性产生分类器；使用所述分类器对所述多个缺陷的至少一些分类；由投票过程确定使用所述分类器分类的所述多个缺陷的所述至少一些的置信度，其中所述投票过程包含来自于所述分类器的每一分类输出的投票；识别由所述分类器分类的具有最低置信度的选定数目个缺陷；从所述用户接口装置接收指示具有所述最低置信度的所述选定数目个所述缺陷的额外手动分类的信号，其中所述分类器包括随机森林分类器，其中所述随机森林分类器的每一树具有分类输出，所述分类输出被配置为在所述投票过程中的投票；以及确定所述额外手动分类是否识别在所述第一手动分类中未识别的一或多个额外缺陷类型。
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