[发明专利]涂层电气组件在审
申请号: | 201680032607.5 | 申请日: | 2016-06-09 |
公开(公告)号: | CN107852824A | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 吉安弗兰可·阿拉斯塔;加雷思·亨尼根;安德鲁·西蒙·霍尔·布鲁克斯;沙林达·维克拉姆·辛格 | 申请(专利权)人: | 赛姆布兰特有限公司 |
主分类号: | H05K3/28 | 分类号: | H05K3/28 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 杨文娟,臧建明 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种电气组件,所述电气组件在其至少一个表面上具有多层保形涂层,其中,所述多层涂层的每层通过前体混合物的等离子体沉积获得,所述前体混合物包括(a)一种或多种有机硅化合物;(b)可选地,O2、N2O、NO2、H2、NH3、N2、SiF4和/或六氟丙烯(HFP);和(c)可选地,He、Ar和/或Kr。所得到的等离子体沉积材料的化学性质可以用通式SiOxHyCzFaNb来描述。通过调整x、y、z、a和b的值来调整保形涂层的性质。 | ||
搜索关键词: | 涂层 电气 组件 | ||
【主权项】:
一种电气组件,所述电气组件在其至少一个表面上具有多层保形涂层,其中,所述多层涂层的每层可通过前体混合物的等离子体沉积获得,所述前体混合物包括:(a)一种或多种有机硅化合物;(b)可选地,O2、N2O、NO2、H2、NH3、N2、SiF4和/或六氟丙烯(HFP);和(c)可选地,He、Ar和/或Kr。
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