[发明专利]涂层电气组件在审

专利信息
申请号: 201680032607.5 申请日: 2016-06-09
公开(公告)号: CN107852824A 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 吉安弗兰可·阿拉斯塔;加雷思·亨尼根;安德鲁·西蒙·霍尔·布鲁克斯;沙林达·维克拉姆·辛格 申请(专利权)人: 赛姆布兰特有限公司
主分类号: H05K3/28 分类号: H05K3/28
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 代理人: 杨文娟,臧建明
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种电气组件,所述电气组件在其至少一个表面上具有多层保形涂层,其中,所述多层涂层的每层通过前体混合物的等离子体沉积获得,所述前体混合物包括(a)一种或多种有机硅化合物;(b)可选地,O2、N2O、NO2、H2、NH3、N2、SiF4和/或六氟丙烯(HFP);和(c)可选地,He、Ar和/或Kr。所得到的等离子体沉积材料的化学性质可以用通式SiOxHyCzFaNb来描述。通过调整x、y、z、a和b的值来调整保形涂层的性质。
搜索关键词: 涂层 电气 组件
【主权项】:
一种电气组件,所述电气组件在其至少一个表面上具有多层保形涂层,其中,所述多层涂层的每层可通过前体混合物的等离子体沉积获得,所述前体混合物包括:(a)一种或多种有机硅化合物;(b)可选地,O2、N2O、NO2、H2、NH3、N2、SiF4和/或六氟丙烯(HFP);和(c)可选地,He、Ar和/或Kr。
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