[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201680032649.9 | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107615656B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 木间智裕 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 韩聪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供即便在IDT电极被暴晒于等离子体气氛时特性的劣化也难以产生的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)和被设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)，IDT电极(3)具有：包括最表层的电极层(3A)的至少1个以上的电极层；和保护最表层的电极层(3A)的保护电极层(3B)，保护电极层(3B)的电阻率比最表层的电极层(3A)大，最表层的电极层(3A)具有位于与压电基板(2)侧相反的一侧的第1主面(3a)、及与第1主面(3a)相连的侧面(3c)，最表层的电极层(3A)中的第1主面(3a)和从第1主面(3a)至侧面(3c)的至少一部分的区域被保护电极层(3B)覆盖，保护电极层(3B)未超越最表层的电极层(3A)的侧面(3c)的下端(P)。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
一种弹性波装置，具备：压电基板；和被设置在所述压电基板上的IDT电极，所述IDT电极具有：具有最表层的电极层的至少1个以上的电极层；和对所述最表层的电极层进行保护的保护电极层，所述保护电极层的电阻率比所述最表层的电极层的电阻率大，所述最表层的电极层具有：位于与所述压电基板侧相反的一侧的第1主面；和与该第1主面相连的侧面，所述最表层的电极层中的所述第1主面和从所述第1主面至所述侧面的至少一部分的区域被所述保护电极层覆盖，所述保护电极层未超越所述最表层的电极层的所述侧面的下端。
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