[发明专利]晶锭切割装置在审

专利信息
申请号: 201680033266.3 申请日: 2016-01-06
公开(公告)号: CN107708949A 公开(公告)日: 2018-02-16
发明(设计)人: 全志原 申请(专利权)人: 爱思开矽得荣株式会社
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D5/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司31100 代理人: 朱立鸣
地址: 韩国庆*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种晶锭切割装置,包括晶锭供给装置,该晶锭供给装置被设置成能竖直地移动并供给晶锭;切片装置,该切片装置被设置成能水平地移动以对晶锭进行切片;浆料供给单元,该浆料供给单元被设置成将浆料供给到晶锭切片装置;以及空气供给单元,该空气供给单元被设置成将空气供给到切片装置,并对供给到切片装置的浆料的供给量进行调节。
搜索关键词: 切割 装置
【主权项】:
一种晶锭切片装置,其特征在于,包括:晶锭供给装置,所述晶锭供给装置被设置成供给晶锭并能在第一方向上移动;切片装置,所述切片装置被设置成能在与所述第一方向交叉的第二方向上移动,并对所述晶锭进行切片;浆料供给单元,所述浆料供给单元被设置成将浆料供给到所述切片装置;以及空气供给单元,所述空气供给单元用于将空气供给到所述切片装置。
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