[发明专利]液体控温系统及膜层剥离设备在审

专利信息
申请号: 201680036290.2 申请日: 2016-10-25
公开(公告)号: CN107820638A 公开(公告)日: 2018-03-20
发明(设计)人: 刘方 申请(专利权)人: 深圳市柔宇科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518052 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种液体控温系统(10)及膜层剥离设备(100),液体控温系统(10)用于膜层剥离设备(100),其包括储存部(12)、腔体(14)及喷淋系统(16),储存部(12)用于盛放液体,腔体(14)形成有腔室(141),腔室(141)的底部(142)连接储存部(12),喷淋系统(16)包括第一喷管(161),第一喷管(161)设置在腔室(141)的底部(142),喷淋系统(16)连接储存部(12)并用于将液体经第一喷管(161)喷淋至腔室(141)的底部(142),腔室(141)的底部(142)用于接收第一喷管(161)喷出的液体并将液体回流至储存部(12)。由于第一喷管(161)设置在腔室(141)的底部(142),离储存部(12)的位置较近,利于液体的回收,同时,在这样使得液体喷淋至腔室(141)的底部(142)后,易于直接回收至储存部(12),从而可减少液体的挥发,即可降低由于液体的挥发而造成的浪费,从而达到了节能的目的。膜层剥离设备(100)包括上述的液体控温系统(10)。
搜索关键词: 液体 系统 剥离 设备
【主权项】:
一种液体控温系统,用于膜层剥离设备,其特征在于,包括:储存部,用于盛放液体;腔体,所述腔体形成有腔室,所述腔室的底部连接所述储存部;喷淋系统,所述喷淋系统包括第一喷管,所述第一喷管设置在所述腔室的底部,所述喷淋系统连接所述储存部并用于将所述液体经所述第一喷管喷淋至所述腔室的底部,所述腔室的底部用于接收所述第一喷管喷出的所述液体并将所述液体回流至所述储存部。
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