[发明专利]处理工件的方法

摘要

本发明公开了一种处理工件的方法及处理工件的装置。所述处理工件的方法，包括在工件已被植入硼之后对所述工件执行短的热处理。此短的热处理可在将工件放置于载具中之前执行。所述短的热处理可使用激光、加热灯或发光二极管来执行。在一些实施例中，加热源安置于装卸室中，且在工件经过处理之后被致动。在其他实施例中，所述加热源安置于输送带上方，所述输送带用以将经处理的工件自装卸室移动至装载/卸载站。

主权项

一种处理工件的方法，其特征在于，包括：将硼植入至所述工件的第一表面中；在所述植入之后将所述工件返送至载具的同时，将所述工件暴露于短的热处理；以及在所述暴露之后，使所述工件经受退火工艺。