[发明专利]压力传感器

摘要

压力传感器具有传感器芯片(10)和树脂部(40)。传感器芯片具备沿长边方向延伸且与长边方向正交的厚度方向的长度比其他部分短的膜片(11c)、以及设于膜片的压电元件(20)。树脂部将传感器芯片悬臂支承。传感器芯片具有被树脂部覆盖并且固定的支承端(10a)、以及在长边方向上为与支承端相反的端部即自由端(10b)。自由端与树脂部在长边方向上分离，膜片配置于离开树脂部的自由端。树脂部中的覆盖传感器芯片的部位与膜片之间的长边方向上的最短的分离距离为，传感器芯片的分别与长边方向和厚度方向正交的短边方向上的长度以上。根据该压力传感器，能够抑制膜片产生应变，并且能够抑制传感器芯片的外形的增大。

主权项

1.一种压力传感器，具有：/n沿长边方向延伸的传感器芯片(10)，具备膜片(11c)和压电元件(20)，该压电元件(20)设于上述膜片；以及/n树脂部(40)，对上述传感器芯片进行悬臂支承，/n上述膜片(11c)在与上述长边方向正交的厚度方向上的长度比上述传感器芯片中的除了上述膜片(11c)以外的部分在上述厚度方向上的长度短，/n上述传感器芯片具有两个端部，上述两个端部中的一方是被上述树脂部覆盖并且固定的支承端(10a)，上述两个端部中的另一方是在上述长边方向上与上述支承端相反的端部即自由端(10b)，/n上述自由端与上述树脂部在上述长边方向上分离，/n上述膜片配置于与上述树脂部分开的上述自由端，/n上述树脂部中的覆盖上述传感器芯片的部位与上述膜片之间的上述长边方向上的最短的分离距离为，上述传感器芯片的与上述长边方向及上述厚度方向分别正交的短边方向上的长度以上。/n