[发明专利]压印用的模板制造装置以及模板制造方法

摘要

实施方式的压印用的模板制造装置具备：工作台(13)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具有形成有凹凸图案的凸部(52)；供给头(11)，向工作台(13)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(15)、(17A)以及(17B)，使供给头(11)以及工作台(13)在沿着工作台(13)的方向上相对移动；以及控制部(40)，对供给头(11)以及移动机构进行控制，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少在凸部(52)的侧面涂敷液状的疏液材料。液状的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分以及非疏液成分、将疏液成分溶解的挥发性溶剂、以及将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

主权项

1.一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：工作台，对模板进行支承，该模板具有基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于上述主面上，在该凸部中的端面形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；供给头，向上述工作台上的上述模板供给将上述液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；移动机构，使上述工作台以及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；以及控制部，对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少在上述凸部的侧面涂敷上述液状的疏液材料，上述液状的疏液材料包含：与上述模板的表面反应的疏液成分；与上述模板的表面反应的非疏液成分；将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；以及将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。