[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，将含水的冲洗液供给至被保持为水平的基板之后，使含有异丙醇的含IPA液供给至已附着有冲洗液的基板。之后，将水分浓度较低的含IPA液供给至基板。被供给至基板的含IPA液为了被再次供给至基板而被回收。

主权项

一种基板处理装置，将含有异丙醇的含异丙醇液供给至被保持为水平的基板，包括：基板保持单元，用于将基板保持为水平，冲洗液供给单元，用于将含有水的冲洗液供给至由所述基板保持单元保持的基板，第一异丙醇供给系统，用于将含异丙醇液供给至由所述基板保持单元保持的基板，第二异丙醇供给系统，用于将水分浓度比由所述第一异丙醇供给系统供给的含异丙醇液的水分浓度更低的含异丙醇液，供给至由所述基板保持单元保持的基板，回收单元，用于将被供给至由所述基板保持单元保持的基板的含异丙醇液，回收至所述第一异丙醇供给系统及第二异丙醇供给系统双方或所述第一异丙醇供给系统，以及控制装置，用于控制所述冲洗液供给单元、所述第一异丙醇供给系统、所述第二异丙醇供给系统、及所述回收单元；所述控制装置执行如下步骤：冲洗液供给步骤，用于使所述冲洗液供给单元将冲洗液供给至所述基板，第一异丙醇供给步骤，在所述冲洗液供给步骤之后，使所述第一异丙醇供给系统将含异丙醇液供给至附着有冲洗液的所述基板，第二异丙醇供给步骤，在所述第一异丙醇供给步骤之后，使所述第二异丙醇供给系统将含异丙醇液供给至所述基板，以及回收步骤，用于使所述回收单元回收在所述第一异丙醇供给步骤及所述第二异丙醇供给步骤中的至少一方被供给至所述基板的含异丙醇液。