[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201680041485.6 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107849685B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 水谷和挥;片山幸祐 | 申请（专利权）人： | 爱信精机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 青炜;尹文会 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 立式蒸镀装置具备：保持部，其保持基材；丝型加热器，其由通过通电而发热的线状的发热体构成，具有通过将线状的发热体折弯而形成为能够收纳蒸镀材料的收纳部，配设为使收纳部相对于被保持于保持部的基材沿水平方向分离规定的距离而设置；以及反射板，其在从被保持于保持部的基材观察时配设在被收纳于收纳部的蒸镀材料的后方，并且构成为从丝型加热器向该反射板传递热量。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其中，具备：保持部，其保持基材；丝型加热器，其由通过通电而发热的线状的发热体构成，具有通过将上述线状的发热体折弯而形成为能够收纳蒸镀材料的收纳部，配设为使上述收纳部相对于被保持于上述保持部的上述基材沿水平方向分离规定的距离而设置；以及反射板，其在从被保持于上述保持部的上述基材观察时，配设在被收纳于上述收纳部的上述蒸镀材料的后方，并且构成为从上述丝型加热器向该反射板传递热量。
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