[发明专利]含有磺基酯的铵盐的减少缺陷用冲洗溶液有效
| 申请号： | 201680041792.4 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN107849493B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | C·比特纳;G·奥特;A·洪丘克;A·克里普;S·布劳恩 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C11D1/12 | 分类号： | C11D1/12;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 肖威;刘金辉 |
| 地址： | 德国莱茵河*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及包含一种或多种选自磺基丁二酸二酯、(磺基甲基)丁二酸二酯、甲基磺基丁二酸二酯、磺基戊二酸二酯和磺基丙三羧酸三酯的化合物的一种或多种铵盐的组合物在清洁或冲洗包含基材和承载于其上的具有线宽为50nm及更小的线‑间隙结构的图案化材料层的产品中的用途。本发明还涉及一种制备包含基材和承载于其上的具有线宽为50nm或更小的线‑间隙结构的图案化材料层的已清洁或冲洗产品的相应方法。本发明还涉及一种HAZEN色数小于1000和/或浊度为0.08‑10NTU的溶液，其中该溶液包含水和一种或多种铵盐以及任选地，一种或多种有机溶剂化合物。本发明还涉及一种制备相应溶液的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 磺基酯 铵盐 减少 缺陷 冲洗 溶液 | ||
【主权项】：
包含一种或多种选自如下的化合物的一种或多种铵盐的组合物在清洁或冲洗包含基材和承载于其上的具有线宽为50nm及更小的线‑间隙结构的图案化材料层的产品中的用途：磺基丁二酸二酯，(磺基甲基)丁二酸二酯，甲基磺基丁二酸二酯，磺基戊二酸二酯，和磺基丙三羧酸三酯。
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