[发明专利]在驱动模式具有最小化的干扰运动的转速传感器

摘要

本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的第一结构和至少一个相对于衬底并且相对于第一结构可运动的第二结构，其中，转速传感器包括至少一个第一驱动结构用于使第一结构从第一结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，转速传感器包括至少一个第二驱动结构用于使第二结构从第二结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第一结构和第二结构可以被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动，其中，第一驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第一弹簧，使得该第一弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与垂直于主延伸平面走向的第二轴线平行走向的轴线的偏转，其中，第二驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第二弹簧，使得该第二弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的另一轴线的偏转。

主权项

转速传感器(1)，具有带有主延伸平面(100)的衬底(3)和至少一个相对于所述衬底(3)能运动的第一结构(5)和至少一个相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)能运动的第二结构(7)，其中，所述转速传感器(1)包括至少一个第一驱动结构(9)用于使所述第一结构(5)从所述第一结构(5)的静止位置中以基本上平行于第一轴线(Y)的运动分量偏移，其中，所述转速传感器(1)包括至少一个第二驱动结构(11)用于使所述第二结构(7)从所述第二结构(7)的静止位置中以基本上平行于第一轴线(Y)的运动分量偏移，其中，所述第一结构(5)和所述第二结构(7)能够被激励而以基本上平行于所述第一轴线(Y)的运动分量基本上反相地振动，其特征在于，所述第一驱动结构(9)如此具有至少一个固定在所述衬底(3)上的第一弹簧(13)，使得所述第一弹簧(13)抵抗所述第一结构(5)的基本上围绕与垂直于所述主延伸平面(100)走向的第二轴线(Z)平行走向的轴线的偏转，其中，所述第二驱动结构(11)如此具有至少一个固定在所述衬底(3)上的第二弹簧(15)，使得所述第二弹簧(15)抵抗所述第二结构(7)的基本上围绕与所述第二轴线(Z)平行走向的另一轴线的偏转。