[发明专利]用于支承半导体器件或其它部件的卷盘至卷盘检查的固定装置

摘要

本发明公开了一种系统，该系统包括部件检查系统（200），部件检查系统具有被构造成生成辐射的辐射源（202）；以及被构造成在辐射穿过待检查部件之后检测辐射的辐射检测器（204）。系统还包括构造成容纳多个卷盘（502、504）的固定装置（100），多个卷盘中的每一个被构造成容纳带（506），部件位于带中或者位于带上。固定装置包括被构造成固定至支承件的底座（102）；轴（104）；安装至轴并且被构造成使卷盘旋转的一个或者多个马达（108、110）；以及联接轴和底座的一个或者多个连接部（106）。一个或者多个连接部被构造成允许：（i）轴围绕轴的纵向轴线旋转以改变轴相对于底座的定向；以及（ii）使轴旋转以改变轴延伸远离底座的方向。

主权项

1.一种设备，所述设备包括：固定装置，所述固定装置被构造成容纳多个卷盘，所述多个卷盘的每一个被构造成容纳带，待检查部件位于所述带中或者位于所述带上；其中，所述固定装置包括：底座，所述底座被构造成固定至支承件；轴；一个或者多个马达，所述一个或者多个马达安装至所述轴并且被构造成使所述卷盘旋转；以及一个或者多个连接部，所述一个或者多个连接部联接所述轴和所述底座，其中，所述一个或者多个连接部被构造成允许：（i）所述轴围绕所述轴的纵向轴线旋转以便改变所述轴相对于所述底座的定向；以及（ii）使所述轴旋转以便改变所述轴延伸远离所述底座的方向。