[发明专利]自定向计量和图案分类

摘要

本发明提供用于确定将对样本执行的过程的参数的方法及系统。一种系统包含经配置用于确定在样本上检测到的缺陷的区域的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置用于将所述缺陷的所述区域与所述样本的设计的信息相互关联且基于所述相互关联的结果确定所述缺陷的所述区域与所述设计的所述信息之间的空间关系。另外，所述计算机子系统经配置用于基于所述空间关系自动产生待在针对所述样本执行的过程期间使用测量子系统测量的所关注区。

主权项

一种经配置以确定将对样本执行的过程的一或多个参数的系统，其包括：测量子系统，其包括至少一能量源及检测器，其中所述能量源经配置以产生引导到样本的能量，且其中所述检测器经配置以检测来自所述样本的能量且响应于所述检测到的能量而产生输出；及一或多个计算机子系统，其经配置用于：确定在所述样本上检测到的缺陷的区域；将所述缺陷的所述区域与所述样本的设计的信息相互关联；基于所述相互关联的结果确定所述缺陷的所述区域与所述设计的所述信息之间的空间关系；及基于所述空间关系自动产生待在针对所述样本执行的过程期间使用所述测量子系统测量的所关注区。