[发明专利]层及其制造方法在审
| 申请号： | 201680048956.6 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN107924991A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | H-J.施赖纳;T.艾因黑林格-米勒;T.施密德;R.莫斯;M.舒伯特 | 申请（专利权）人： | 陶瓷技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L41/314 | 分类号： | H01L41/314 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 邵长准,鲁炜 |
| 地址： | 德国普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有压电特性的层和具有压电特性的层的制造方法，特别是借助于气溶胶沉积方法（ADM‑方法）。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
具有压电特性的层，其特征在于，在涂覆的过程中和之后不进行> 500℃的温度处理。
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