[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置有效

专利信息
申请号: 201680049730.8 申请日: 2016-09-02
公开(公告)号: CN107925397B 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 岩本英树;大坪亮;藤尾幸平 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: H03H9/145 分类号: H03H9/145;H03H9/25
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 赵琳琳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种Q值高且由压电膜的膜厚偏差导致的特性的偏差少的弹性波装置。在弹性波装置(1)中,低声速膜(4)、压电膜(5)以及IDT电极(6)按该顺序层叠在作为高声速部件的高声速支承基板(3)上。在将由IDT电极(6)的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ时,压电膜(5)的膜厚超过1.5λ且为3.5λ以下。在高声速支承基板(3)中传播的体波声速与在压电膜(5)中传播的弹性波声速相比为高速。在低声速膜(4)中传播的体波声速与在压电膜(5)中传播的弹性波声速相比为低速。
搜索关键词: 弹性 装置 高频 前端 电路 以及 通信
【主权项】:
一种弹性波装置,是具有压电膜的弹性波装置,其中,所述弹性波装置具备:高声速部件,其传播的体波声速与在所述压电膜中传播的弹性波声速相比为高速;低声速膜,层叠在所述高声速部件上,且该低声速膜传播的体波声速与在所述压电膜中传播的弹性波声速相比为低速;所述压电膜,层叠在所述低声速膜上;和IDT电极,形成在所述压电膜的一个面,在将由所述IDT电极的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ时,所述压电膜的膜厚被设为超过1.5λ且为3.5λ以下。
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