[发明专利]微通道板及电子倍增体有效
| 申请号： | 201680050641.5 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN107924807B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 永田贵章;浜名康全;西村一;中村公嗣 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J43/24 | 分类号： | H01J43/24;H01J9/12 |
| 代理公司： | 11322 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种微通道板(10)，其具备：基体(11)，其具有输入面(11a)及输出面(11b)；多个通道(12)，其从基体的输入面贯通至输出面；电子发射膜(14)，其设置于通道的内壁面(12a)；保护膜(15)，其设置于电子发射膜上；输入电极(16)及输出电极(17)，其分别设置于基体的输入面上及输出面上。电子发射膜由Al | ||
| 搜索关键词： | 通道 电子 倍增 | ||
【主权项】：
1.一种微通道板，其特征在于，/n具备：/n基体，具有表面、背面及侧面；/n多个通道，从所述基体的所述表面贯通至所述背面；/n第一膜，至少设置于所述通道的内壁面上；/n第二膜，设置于所述第一膜上；以及/n电极层，分别设置于所述基体的所述表面上及所述背面上，/n所述第一膜由Al
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