[发明专利]基板处理方法及基板处理装置有效

专利信息
申请号: 201680053173.7 申请日: 2016-04-22
公开(公告)号: CN108028191B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 津田祥太郎;石井淳一 申请(专利权)人: 株式会社斯库林集团
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 向勇;董雅会
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 进行中央侧喷洗工序,该中央侧喷洗工序与使刷子接触基板的下表面倾斜部的下侧刷洗工序并行进行,在中央侧喷洗工序中,一边使多个液滴撞击基板的上表面,一边使多个液滴对基板的上表面的撞击位置在基板的中央与基板的中间之间移动。之后,进行外周侧喷洗工序,该外周侧喷洗工序与使刷子接触基板的上表面倾斜部的上侧刷洗工序并行进行,一边使多个液滴撞击基板的上表面,一边使多个液滴对基板的上表面的撞击位置在基板的中间与基板的外周之间移动。
搜索关键词: 处理 方法 装置
【主权项】:
1.一种基板处理方法,包括:基板旋转工序,一边将基板保持为水平一边使所述基板绕通过所述基板的铅垂的旋转轴线旋转;下侧刷洗工序,与所述基板旋转工序并行进行,使刷子接触所述基板的下表面倾斜部;中央侧喷洗工序,与所述下侧刷洗工序并行进行,一边使多个液滴撞击所述基板的上表面,一边使多个液滴对所述基板的上表面的撞击位置在所述基板的中央与所述基板的中间之间移动;上侧刷洗工序,在所述下侧刷洗工序之后,与所述基板旋转工序并行进行,使所述刷子接触所述基板的上表面倾斜部;以及外周侧喷洗工序,与所述上侧刷洗工序并行进行,一边使多个液滴撞击所述基板的上表面,一边使多个液滴对所述基板的上表面的撞击位置在所述基板的中间与所述基板的外周之间移动。
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