[发明专利]机械手组件、基板处理装置和用于在电子设备制造中传送基板的方法有效
| 申请号： | 201680055698.4 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN108028215B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 保罗·Z·沃思 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 机械手组件允许载具支撑的机械手的远程致动。所述机械手组件包含轨道；载具，所述载具可沿着所述轨道移动；和机械手，所述机械手安装至所述载具。所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂。所述机械手组件进一步包含驱动组件，所述驱动组件具有第一驱动构件，第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，和第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件。所述第一驱动电动机经配置以移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的远程旋转和所述第一臂的旋转。还提供基板处理装置和在基板处理装置内传送基板的方法，如其他众多方面。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 组件 处理 装置 用于 电子设备 制造 传送 方法 | ||
【主权项】：
1.一种机械手组件，包括：轨道；载具，所述载具可沿着所述轨道移动；机械手，所述机械手安装至所述载具，所述机械手包含至少第一臂和第一从动构件，所述第一从动构件耦接至所述第一臂；和驱动组件，包含：第一驱动构件，第一传输构件，所述第一传输构件耦接至所述第一驱动构件和所述第一从动构件，所述第一传输构件沿着所述轨道的长度延伸，和第一驱动电动机，所述第一驱动电动机耦接至所述第一驱动构件，所述第一驱动电动机经配置以移动所述第一驱动构件，造成所述第一从动构件的旋转和所述第一臂的旋转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
