[发明专利]碳化硅基板有效
| 申请号： | 201680056320.6 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN108026664B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 梶直树;上田俊策;堀勉;原田真 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种碳化硅基板，其多数载流子密度为1×10 |
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| 搜索关键词： | 碳化硅 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅基板，其多数载流子密度为1×1017 cm-3 以上，其中，在除了自主表面的外周起算的距离为5mm以内的区域之外的区域中，通过μ-PCD分析得到的少数载流子寿命的标准偏差为0.7ns以下。
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