[发明专利]具有微细图案的树脂薄膜的制造方法以及有机EL显示装置的制造方法与微细图案形成用基材薄膜和具有支撑部件的树脂薄膜有效
| 申请号： | 201680057189.5 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN108474100B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 西田光志;矢野耕三;岸本克彥;崎尾進;竹井日出夫 | 申请（专利权）人： | 鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;薛晓伟 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供使用树脂材料并且正确形成如蒸镀掩模或光学元件的微细图案加工的树脂薄膜的制造方法，以及有机EL显示装置的制造方法，以及用于形成微细图案的基材薄膜与具有支撑部件的树脂薄膜。通过将液状的树脂材料涂敷至支撑部件来形成树脂涂敷膜(S1)，使该树脂涂敷膜的温度提升至该树脂材料的硬化温度来形成树脂烘烤膜(S2)。然后，通过照射激光至树脂烘烤膜附着于支撑部件而成的基材薄膜来加工，以形成具有期望的微细图案且具有支撑部件的树脂薄膜(1b)(S3)。之后，通过从支撑部件剥离形成微细图案的树脂烘烤膜，得到具有微细图案的树脂薄膜(S5)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微细 图案 树脂 薄膜 制造 方法 以及 有机 el 显示装置 形成 基材 支撑 部件 | ||
【主权项】：
1.一种具有微细图案的树脂薄膜的制造方法，其特征在于：将液状的树脂材料涂敷至支撑部件来形成树脂涂敷膜；通过使所述树脂涂敷膜的温度上升至所述树脂材料硬化的温度并烘烤所述树脂涂敷膜来形成树脂烘烤膜；通过照射激光至附着于所述支撑部件的所述树脂烘烤膜来加工，以在所述树脂烘烤膜形成期望的图案；及从所述支撑部件剥离所述树脂薄膜。
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