[发明专利]分辨至少两个光谱范围的高分辨率扫描显微术

摘要

出于高分辨率扫描显微术的目的，样品(2)由照明辐射(5)激发以发射荧光辐射，使得照明辐射(5)聚焦在样品(2)中或样品(2)上的点，以便于形成衍射受限照明斑(14)。以衍射受限方式将该点成像在检测器(19)上的衍射图像(17)中，其中检测器(19)具有检测器元件(25)和多个位置通道(21)，该位置通道(21)分辨衍射图像(17)的衍射结构。以具有小于照明斑(14)的一半直径的增量的多个扫描位置扫描样品(2)。从检测器(19)的数据和从与这些数据相关联的扫描位置产生样品(2)的图像，该样品(2)的图像具有增加超过图像的分辨率极限的分辨率。为了在至少两个预定光谱通道(R、G)之间区分样品(2)的荧光辐射，对于每个位置通道(21)存在通向分离元件(30)的独立的射束路径，该分离元件(30)在光谱上将这些射束路径分开到光谱通道(R、G)并且然后将不同位置通道的光谱通道(R、G)重新混合到附加独立射束路径(28)上的相同数量中，使得多个附加独立射束路径(28)接收不同光谱通道(R、G)中以及来自不同位置通道(21)的辐射，并且这些附加独立射束路径(28)中的每一个通向检测器元件(25)中的一个。

主权项

一种样品(2)的高分辨率扫描显微术的方法，其中：‑所述样品(2)由照明辐射(5)激发以发射荧光辐射，其中将所述照明辐射聚焦到所述样品(2)中或所述样品(2)上的点以形成衍射受限照明斑(14)；‑以衍射受限方式将所述点成像到空间分辨检测器装置(19)的检测区域(18)上的衍射图像(17)；其中‑所述检测区域(18)具有限定所述检测器装置(19)的空间分辨率的空间通道(21)，所述分辨率分辨所述衍射图像(17)的衍射结构(30‑33)，‑所述检测器装置(19)包括检测所述衍射图像(17)的辐射的检测器元件(25)，‑对于多个所述空间通道(21)中的每一个，将引导到其的所述辐射(32)在光谱上分到多个光谱通道(R、G)中并且再次合并在一起以形成混合通道(28)，其中将源自不同空间通道(21)的辐射合并到各个混合通道(28)中，并且将来自各种光谱通道(R、G)的辐射合并到多个混合通道(28)，并且将每个混合通道(28)引导到所述检测器元件(25)中的一个；‑相对于所述样品(2)，以小于所述照明斑(14)的一半直径的增量将所述点位移到不同扫描位置中；‑针对每个扫描位置，从所述检测器元件(25)读取强度数据，并且从所述强度数据和分配到其的扫描位置产生所述样品(2)的图像，所述图像具有增加而超过用于成像所述点的分辨率极限的分辨率，其中对于每个检测器元件(25)考虑所述辐射(32)的空间通道(21)和光谱通道(R、G)，并且所述样品(2)的图像以多光谱的方式产生。