[发明专利]惯性力传感器在审
| 申请号： | 201680057926.1 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108450008A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 出川宗里;菊地广 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B3/00;G01C19/5747;G01C19/5783;G01D21/02;G01L9/00;G01P15/125;G01P15/18;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够小型化的惯性力传感器。本发明的惯性力传感器具有形成有检测部(20、30)的层(1a、2a)，所述层是2个以上层叠在一起的层叠结构体。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性力传感器 层叠结构体 检测 | ||
【主权项】：
1.一种惯性力传感器，其特征在于，具有形成有检测部的层，所述层是2个以上层叠在一起的层叠结构体。
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