[发明专利]弹性波装置

摘要

本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内，θ±1.5°的范围内，0°±10°的范围内)，IDT电极(3)具有主电极，在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时，主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1)：θ＝‑0.05°/(T/r‑0.04)+31.35°。

主权项

一种弹性波装置，具备：LiNbO₃基板；IDT电极，设置在所述LiNbO₃基板；电介质膜，设置在所述LiNbO₃基板上，使得覆盖所述IDT电极；以及频率调整膜，设置在所述电介质膜上，所述LiNbO₃基板的欧拉角为(0°±5°的范围内，θ±1.5°的范围内，0°±10°的范围内)，所述IDT电极具有主电极，在将通过由所述IDT电极的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的所述主电极的膜厚设为T并将所述主电极的材料与Pt的密度比设为r时，所述主电极的膜厚T和所述欧拉角的θ满足下述的式(1)，式(1)：θ＝‑0.05°/(T/r‑0.04)+31.35°。