[发明专利]加热器单元有效
| 申请号： | 201680059985.2 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN108141917B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 花待年彦;相川尚哉 | 申请（专利权）人： | 日本发条株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/74 | 分类号： | H05B3/74;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/683;H05B3/18 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 金杨;王大方 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供温度的面内均匀性高的加热器单元。加热器单元具有：第一加热器部；第二加热器部，相对于第一加热器部独立地受控制；基材，在和第一加热器部与第二加热器部之间相对应的区域设置有槽；以及盖部，配置于槽的开口端，并与槽一起提供封闭空间。另外，可以还具有覆盖第一加热器部和第二加热器部的绝缘层、和隔着绝缘层安装于基材的静电吸盘。由盖部和槽提供的封闭空间可以为真空。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 单元 | ||
【主权项】：
一种加热器单元，其特征在于，具有：第一加热器部；第二加热器部，相对于所述第一加热器部独立地受控制；基材，在和所述第一加热器部与所述第二加热器部之间相对应的区域设置有槽；以及盖部，配置于所述槽的开口端，并与所述槽一起提供封闭空间。
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