[发明专利]真空涂布系统中涂布超长片型基材，特别是玻璃板，装置及方法有效
| 申请号： | 201680061073.9 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN108138315B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 奥拉夫·加韦;豪格·里查特;珍·埃尔里希 | 申请（专利权）人： | 格林策巴赫机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国阿斯巴*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是关于在真空涂布系统中涂布超长片型基材，特别是玻璃板，的装置与方法，所述系统具有下列特征：a)设置在入口侧上的一系列连接的腔室，其由每一基材平板(9)通过，即锁定腔室(1)、缓冲腔室(2)以及传送腔室(3)，其中这些腔室中的每一个腔室的入口处可通过止回阀(8、11、15)以气密方式关闭，其中所述传送腔室(3)之后是处理腔室(4)的区域，且所述处理腔室(4)之后是出口侧系列连接的传送腔室(5)、缓冲腔室(7)与锁定腔室(8)；b)建构在辊子上的输送装置(10)；c)在缓冲腔室(2)的区域中具有适配凸缘(14)的单个高能真空泵(13)；d)在缓冲腔室(2)的区域中的至少2个流动挡板(12)；e)用于所述流动挡板(12)的纵向位移的系统(16)，和用于所述流动挡板(12)的高度调整的系统(17)；f)用于控制动态过程的组件。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 中涂布超 长片 基材 特别是 玻璃板 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在真空涂布系统中涂布超长平面基材，特别是玻璃板的装置，所述装置具有下列特征：a)设置在入口侧上的一系列腔室，其由各自的基材平板(9)通过，特别是锁定腔室(1)、缓冲腔室(2)以及传送腔室(3)，其中在所述入口侧处的这些腔室中的每一个腔室可通过瓣阀(8、11、15)以气密方式关闭，而且其中所述传送腔室(3)之后是处理腔室(4)的区域，且所述处理腔室(4)之后是出口侧系列的传送腔室(5)、缓冲腔室(7)与锁定腔室(8)；b)建构在辊子上的输送装置(10)；c)在所述缓冲腔室(2)的所述区域中具有适配凸缘(14)的单个高输出真空泵(13)；d)在所述缓冲腔室(2)的所述区域中的至少一个流动挡板(12)；e)用于所述流动挡板(12)的所述纵向位移的装配(16)，和用于所述流动挡板(12)的所述高度调整的装配(17)；以及f)用于控制所述运动过程的组件。
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