[发明专利]有机EL器件的制造方法及有机EL器件

摘要

一实施方式的有机EL器件(1)的制造方法包括：通过涂布法在带围堰的基板(10)所具有的设置于由围堰(13)规定的像素区域(2a)中的第一电极(12)上形成有机发光层(23)的工序；算出有机发光层的平坦度的工序；判定所述平坦度是否为期望的平坦度以上的工序；形成第二电极(30)的工序，将有机发光层的最小厚度设为d(nm)，将(d+规定值)nm以下的有机发光层的面积设为A1，将像素区域的面积设为A2时，平坦度由(A1/A2)×100表示，在判定工序中平坦度为期望的值以上的情况下，实施形成第二电极的工序，在判定工序中平坦度小于期望的值的情况下，变更有机发光层的形成条件来形成有机发光层。

主权项

1.一种有机EL器件的制造方法，其特征在于，包括：通过涂布法在具备基板、围堰及第一电极的带围堰的基板的所述第一电极上形成有机发光层的工序，其中，所述围堰设置于所述基板且用于规定像素，所述第一电极在所述基板中设置于与所述像素对应的像素区域上；算出所述有机发光层的平坦度的工序；判定所述有机发光层的平坦度是否为期望的平坦度以上的工序；以及在所述有机发光层上形成第二电极的工序，在算出所述平坦度的工序中，将所述有机发光层的最小厚度设为d，将从所述基板的厚度方向观察时为(d+规定值)以下的所述有机发光层的面积设为A1，将所述像素区域的面积设为A2，将所述平坦度设为α时，通过下述式(1)算出所述平坦度，α＝(A1/A2)×100…(1)在进行判定的所述工序中所述平坦度为期望的值以上的情况下，实施形成所述第二电极的工序，在进行判定的所述工序中所述平坦度小于期望的值的情况下，在形成所述有机发光层的工序中，变更所述有机发光层的形成条件来形成所述有机发光层，其中，d、(d+规定值)的单位为nm。