[发明专利]具有废气分解器的基板处理设备及其废气处理方法

摘要

本发明公开了一种基板处理设备及废气处理方法。在根据本发明的基板处理设备和废气处理方法中，废气分解模块可以分解从处理室排出的源气体以分解源气体的配体。此外，配体和配体已被分解的源气体通过与分别供给的O2、N2O或O3反应，可以处于稳定状态，然后可以变为包含与它们混合的反应气体的混合气体。随后，混合气体可以流入到排气泵中并且可以排出。可替换地，配体和源气体可以与反应气体混合并且可以排出。因此，配体和配体已被分解的源气体可能不与反应气体或者在排气泵中产生的热反应，并且因此，流入到排气泵中的配体已被分解的源气体和配体不沉积在排气泵的内表面上。此外，堆积在排气泵中的配体已被分解的源气体和配体不会爆炸。

主权项

1.一种基板处理设备，包括：处理室，包括对基板进行处理的空间；基板支撑装置，安装在所述处理室中，所述基板设置在所述基板支撑装置上；源气体分配装置，将源气体分配到所述基板；反应气体分配装置，将反应气体分配到所述基板；源气体排气管路，引导所述处理室的源气体排出到所述处理室外部；反应气体排气管路，引导所述处理室的反应气体排出到所述处理室外部；排气泵，与所述源气体排气管路和所述反应气体排气管路中的每一者连通，以将源气体和反应气体分别排出到所述源气体排气管路和所述反应气体排气管路；以及废气分解模块，安装在所述处理室与所述排气泵之间的所述源气体排气管路中，以分解经由所述源气体排气管路流入到所述排气泵中的源气体。