[发明专利]气体阻隔膜有效
申请号: | 201680066364.7 | 申请日: | 2016-11-02 |
公开(公告)号: | CN108349210B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 河村朋纪 | 申请(专利权)人: | 柯尼卡美能达株式会社 |
主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;B65D65/40;C23C16/42;H01L51/50;H05B33/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 贾成功 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的课题是提供气体阻隔性良好、辊卷取时的表背面接触引起的气体阻隔性的降低小、并且裁切时的裂纹的产生得到了抑制的气体阻隔膜。该气体阻隔膜的特征在于,在通过X射线光电子分光法得到的光谱中,将气体阻隔层的层厚方向的由来自硅原子、氧原子和碳原子的峰强度的比率所换算的组成比的合计量设为100%时,基于与碳原子有关的C1s的波形解析的由来自于C‑C、C=C和C‑H键的峰强度的比率所换算的组成比的比例X(%)满足:将上述气体阻隔层的最表面的层厚设为0%、将与上述基材的界面的层厚设为100%时层厚5~30%区域中的上述比例X的最大值(%)为5~41(%)的范围内。 | ||
搜索关键词: | 气体 阻隔 | ||
【主权项】:
1.一种气体阻隔膜,其特征在于,其在基材上具有至少含有硅原子(Si)、氧原子(O)和碳原子(C)的气体阻隔层,在通过X射线光电子分光法所得到的光谱中,将气体阻隔层的层厚方向的由来自硅原子(Si)、氧原子(O)和碳原子(C)的峰强度的比率所换算的组成比的合计量设为100%时,基于与碳原子有关的C1s的波形解析的由来自于C‑C、C=C和C‑H键的峰强度的比率所换算的组成比的比例X(%)满足下述(1),(1):对于上述气体阻隔层的层厚方向,将上述气体阻隔层的最表面的层厚设为0%、与上述基材的界面的层厚设为100%时,层厚5~30%区域中的上述比例X的最大值(%)为5~41(%)的范围内。
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