[发明专利]具有涂覆于圆柱形对称元件上的目标材料的激光产生的等离子体光源

摘要

本发明针对于具有涂覆于圆筒的外表面上的例如氙等目标材料的激光产生的等离子体光源。实施例包含用于使所述圆筒旋转的轴承系统，所述轴承系统具有用于减少污染物材料及/或轴承气体到LPP室中的泄漏的结构。揭示用于涂覆及补充所述圆筒上的目标材料的注入系统。揭示用于准备所述圆筒上的目标材料表面的刮刷器系统，所述准备是例如使所述目标材料表面平滑。还揭示用于冷却及维持所述圆筒及上覆于所述圆筒上的壳体的温度的系统。

主权项

1.一种装置，其包括：定子主体；圆柱形对称元件，其可围绕轴旋转且具有涂覆有形成等离子体的目标材料的表面以供由驱动激光器辐照以在激光产生的等离子体LPP室中产生等离子体，所述元件从第一端延伸到第二端；气体轴承组合件，其将所述圆柱形对称元件的所述第一端耦合到所述定子主体，所述气体轴承组合件形成轴承气流且具有通过将障壁气体引入到与所述轴承气流流体连通的第一空间中而减少轴承气体到所述LPP室中的泄漏的系统；及第二轴承组合件，其将所述圆柱形对称元件的所述第二端耦合到所述定子主体，所述第二轴承具有通过将障壁气体引入到与所述第二轴承流体连通的第二空间中而减少污染物材料从所述第二轴承到所述LPP室中的泄漏的系统。