[发明专利]具有基础层及附着于其上的窗的抛光垫有效
| 申请号： | 201680066823.1 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN108349060B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | P.A.勒费夫尔;W.C.阿利森;D.斯科特;J.阿尔诺 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26;C09K3/14;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 孙梵 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述具有基础层及附着于该基础层上的窗的抛光垫，及制造该抛光垫的方法。在一实例中，用于抛光基板的抛光垫包括具有第一模量的基础层。抛光层附着于该基础层上且具有低于该第一模量的第二模量。第一开口穿过该抛光层且第二开口穿过该基础层。该第一开口暴露该第二开口的至少一部分且暴露该基础层的一部分。窗安置于该第一开口中且附着于该基础层的暴露部分。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 基础 附着 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光基板的抛光垫，该抛光垫包含：具有第一模量的基础层；附着于该基础层上的抛光层，且其具有低于该第一模量的第二模量；穿过该抛光层的第一开口及穿过该基础层的第二开口，该第一开口暴露该第二开口的至少一部分且暴露该基础层的一部分；以及安置于该第一开口中且附着于该基础层的暴露部分的窗。
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