[发明专利]相移量测定装置有效
| 申请号： | 201680068726.6 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108603833B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 米泽良 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01J9/02;G01M11/00;G01N21/27;G03F1/84 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;杨青 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种测定相移掩模(15)的相移量的装置，其中，在从光源(1)至拍摄双重干涉图像的摄像装置(2)的单一光路上具备：衍射光栅(7)，其衍射直线偏振光而生成多个衍射光；Nomarski棱镜(11)，其生成相移掩模(15)的图案的横向偏移双重图像，并且使通过了相移掩模(15)的图案部(18)及移相器部(19)的衍射光干涉；移动单元(21)，其使Nomarski棱镜(11)沿双重图像的生成方向滑动移动。 | ||
| 搜索关键词： | 相移 测定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种相移量测定装置，测定相移掩模的相移量，其特征在于，在从光源至拍摄双重干涉图像的摄像装置的单一光路上，从上游侧起具备：衍射光栅，其衍射直线偏振光而生成多个衍射光；双楔棱镜，其生成所述相移掩模的图案的横向偏移双重图像，并且，使通过了所述相移掩模的图案部及移相器部的所述衍射光干涉；移动单元，其使所述双楔棱镜沿所述双重图像的生成方向滑动移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社V技术，未经株式会社V技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680068726.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
