[发明专利]蒸汽释放装置及成膜装置有效
| 申请号： | 201680069977.6 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108291292B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 斋藤和彦;林信博;广野贵启;岩桥照明 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C16/448 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;刘林华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明目的在于提供一种能够在真空中基体材料膜上形成有机化合物膜时使有机化合物单体的蒸汽按一定的比例产生并使成膜速率稳定的技术。本发明是一种在真空中释放有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放装置，具有：将液体状的有机化合物单体气化的气化部21；以及与气化部21连通并释放气化部21中气化的有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放部22。在气化部21内设有中空的蒸发器40。该蒸发器40构成为使液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热雾状的有机化合物单体34而使之蒸发，将有机化合物单体的蒸汽向气化部21内导出。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸汽 释放 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种蒸汽释放装置，在真空中释放有机化合物单体的蒸汽，具有：气化部，其将液体状的有机化合物单体气化；以及蒸汽释放部，其与所述气化部连通，释放所述气化部中气化的有机化合物单体的蒸汽，在所述气化部内设有中空的蒸发器，该蒸发器构成为使所述液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将该有机化合物单体的蒸汽向所述气化部内导出。
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