[发明专利]含酚性羟基树脂及抗蚀膜

摘要

以提供显影性、耐热性及基板追随性优异的含酚性羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜为课题。使以三芳基甲烷型化合物(A)和醛化合物(B)作为必需成分反应而得到的酚醛清漆树脂中间体、与碳原子数9～24的烯烃化合物(C)进行反应而得到的含酚性羟基树脂、含有该含酚性羟基树脂的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜。

主权项

1.一种含酚性羟基树脂，其特征在于，具有下述结构式(1)所示的结构部位作为重复单元，且树脂中存在的R2或R3中的至少一个为碳原子数9～24的脂肪族烃基，式(1)中，R1为氢原子、烷基、芳基中的任意者，X为下述结构式(2)所示的结构部位(α)或下述结构式(3)所示的结构部位(β)中的任意者，式(2)中，k为0、1、2中的任意者；R2各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者，l各自独立地为1～4的整数；R3为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者，m为1～4的整数；＊为与图中示出的3个芳香环中的任意者的键合点，2个＊可以与同一芳香环键合，也可以各自与不同的芳香环键合，式(3)中，k为0、1、2中的任意者；R2各自独立地为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者，l各自独立地为1～4的整数；R3为氢原子、脂肪族烃基、含芳香环烃基、烷氧基、卤素原子中的任意者，n为1～6的整数；＊为与图中示出的3个芳香环中的任意者的键合点，2个＊可以与同一芳香环键合，也可以各自与不同的芳香环键合。