[发明专利]电子材料用清洗剂组合物、清洗剂原液和电子材料的清洗方法有效
| 申请号： | 201680070975.9 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108779419B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 井内洋介;田中俊 | 申请（专利权）人： | 荒川化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/32 | 分类号： | C11D7/32;C11D7/26;C11D7/50;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的电子材料用清洗剂组合物是含有与水共沸的叔胺(A)和水(B)的清洗剂组合物，所述叔胺(A)的沸点在1个大气压下为130～250℃，叔胺(A)在所述清洗剂组合物的所述叔胺(A)和所述水(B)的总计中的重量比(％)、小于等于叔胺(A)在由叔胺(A)和水(B)构成的共沸混合物中的重量比。该清洗剂组合物即使用非常少的量(低浓度)也能够去除附着于电子材料上的颗粒，并且可以提供一种即使没有用于洗掉清洗剂成分的漂洗工序也不会使清洗剂的残渣残留的电子材料用清洗剂组合物、清洗剂原液和包含电子材料的清洗工序的清洗方法。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 材料 洗剂 组合 原液 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子材料用清洗剂组合物，其特征在于，所述清洗剂组合物含有与水共沸的叔胺A和水B，所述叔胺A的沸点在1个大气压下为130～250℃，叔胺A在所述清洗剂组合物中的所述叔胺A和所述水B的总计中的重量比、小于等于叔胺A在由叔胺A和水B构成的共沸混合物中的重量比，所述重量比以％表示。
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