[发明专利]由量测数据的统计分层重建有效
| 申请号： | 201680071040.2 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108369381B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | S·I·马萨瓦特;R·德克斯;H·A·J·克瑞姆 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种方法，所述方法包括：获得器件制造过程或该器件制造过程的产品的测量结果；通过分别针对于所述测量结果拟合分布来获得所述分布的一个或更多个参数的一个或更多个值的多个组；使用计算机通过针对于所述参数的值的多个组拟合超分布获得所述超分布的一个或更多个超参数的一个或更多个值的组。 | ||
| 搜索关键词： | 数据 统计 分层 重建 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：获得器件制造过程或所述器件制造过程的产品的测量结果；通过分别针对于所述测量结果拟合分布来获得所述分布的一个或更多个参数的一个或更多个值的多个组；使用计算机，通过针对于所述参数的值的多个组拟合超分布，获得所述超分布的一个或更多个超参数的一个或更多个值的组。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680071040.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 数据显示系统、数据中继设备、数据中继方法、数据系统、接收设备和数据读取方法
- 数据记录方法、数据记录装置、数据记录媒体、数据重播方法和数据重播装置
- 数据发送方法、数据发送系统、数据发送装置以及数据结构
- 数据显示系统、数据中继设备、数据中继方法及数据系统
- 数据嵌入装置、数据嵌入方法、数据提取装置及数据提取方法
- 数据管理装置、数据编辑装置、数据阅览装置、数据管理方法、数据编辑方法以及数据阅览方法
- 数据发送和数据接收设备、数据发送和数据接收方法
- 数据发送装置、数据接收装置、数据收发系统、数据发送方法、数据接收方法和数据收发方法
- 数据发送方法、数据再现方法、数据发送装置及数据再现装置
- 数据发送方法、数据再现方法、数据发送装置及数据再现装置
