[发明专利]固态图像拾取元件、图像拾取装置以及制造固态图像拾取元件的方法有效
申请号: | 201680071102.X | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN108292665B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 田中晴美;押山到;横川创造 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G02B1/118;G02B5/20;G02B5/26;H01L27/14;H01L31/10;H04N25/70 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 陈桂香;曹正建 |
地址: | 日本国神奈川*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 在固态图像拾取元件中主要是提高近红外光的灵敏度,并抑制混色。固态图像拾取元件包括像素、光接收表面侧沟槽和光接收表面侧屏蔽构件。在固态图像拾取元件中的像素的光接收表面上形成多个突起。另外,在具有形成在固态图像拾取元件中的光接收表面处的多个突起的像素周围形成光接收表面侧沟槽。另外,将光接收表面侧构件掩埋在像素周围形成的光接收表面侧沟槽中,该像素具有形成在固态图像拾取元件中的光接收表面上的多个突起。另外,近红外光像素的光电转换区域扩展到与可见光像素的光电转换区域的光接收表面相对的表面侧。另外,在与光接收表面相对的表面的像素内进一步形成沟槽。 | ||
搜索关键词: | 固态 图像 拾取 元件 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种固态图像拾取元件,包含:像素,其具有形成在光接收表面上的多个突起;光接收表面侧沟槽,其是在所述光接收表面处的所述像素周围形成的沟槽;以及光接收表面侧构件,其掩埋在所述光接收表面侧沟槽中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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