[发明专利]成膜用材料有效
| 申请号： | 201680071239.5 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108368598B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 佐藤龙一;深川直树;重吉勇二;松仓贤人 | 申请（专利权）人： | 日本钇股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23C4/04;C01F17/00;C23C14/32;C23C24/04;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王灵菇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的成膜用材料含有YO |
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| 搜索关键词： | 用材 | ||
【主权项】：
1.一种成膜用材料，其含有YOxFY所示的钇的氧氟化物及YF3，其中，X及Y是满足0＜X且X＜Y的数，XRD测定中的YF3(020)面的峰高I2与YOxFY主峰峰高I1之比即I2/I1值为0.005以上且100以下。
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