[发明专利]微结构图案在审
| 申请号： | 201680072839.3 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN108369371A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 亨利·克劳迪乌斯·比林斯基 | 申请（专利权）人： | 麦克罗托知识产权私人有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B05D5/00;C09D133/00;C09D175/04;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/26;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 沈敬亭;殷爽 |
| 地址： | 澳大利亚新*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | 在一个方面中，公开了提供了一种在飞机、船、汽车或其它交通工具的外表面上产生微结构图案的方法。通过喷嘴(45)将一层光聚合物(44)施加到顶涂层或基板(43)上。选择性地照射光聚合物以激活其光引发剂，并去除未照射的聚合物。照射可以通过不与聚合物接触的掩模(49)或经由分束布置(63、64)或衍射光栅(71)进行。可以通过原位保留曝光的光聚合物，或使用曝光的光聚合物来掩蔽基板，蚀刻基板，然后去除曝光的光聚合物来形成图案。在另一方面中，提供了一种方法1100，包括将可光固化材料的层施加到外表面的步骤1102，用包括预定照射强度分布的辐射照射可光固化材料的步骤1104，以及去除未固化的可光固化材料以形成微结构图案的步骤1106。照射引发照射的可光固化材料的固化，导致跨越可光固化材料的层的固化深度分布对应于选择的强度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 可光固化材料 照射 光聚合物 微结构图案 聚合物 去除 强度分布 曝光 固化 施加 光引发剂 交通工具 蚀刻基板 衍射光栅 喷嘴 未固化 掩蔽基 照射光 分束 基板 掩模 激活 图案 辐射 保留 飞机 汽车 | ||
【主权项】：
1.一种在外表面上提供微结构图案的方法，所述方法包括以下步骤：将可光固化材料的层施加到所述外表面，所述可光固化材料包括光引发剂；选择性地照射所述可光固化材料以仅在照射的可光固化材料层的那些区域中激活所述光引发剂；去除未照射的可光固化材料或照射的可光固化材料，其中施加和照射步骤两者都不包括与所述可光固化材料层接触的掩模。
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