[发明专利]吸附剂与流体供应包装及包括其的设备有效
| 申请号： | 201680073124.X | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN108367269B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | L·H·杜波依斯;J·D·卡拉瑟斯;M·A·彼特鲁斯卡;E·A·斯特姆;S·M·威尔逊;S·M·卢尔寇特;B·C·亨德里克斯;J·D·斯威尼;M·J·沃德珍斯奇;O·比尔;唐瀛;J·R·德斯普雷斯;M·T·马洛;C·斯坎内尔;D·埃尔策;K·默西 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | B01J20/20 | 分类号： | B01J20/20;B01J20/16;B01J20/22;F17C1/00;B01J20/10 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 顾晨昕 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明描述不同类型及形式的吸附剂，如有用地用于气体供应包装中，所述气体供应包装包含盛放此吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述气体供应包装排放所述吸附气体的气体施配组合件。同样描述对应气体供应包装，及处理所述吸附剂，及制造所述气体供应包装的各种方法。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附剂 流体 供应 包装 包括 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于供应流体以供使用的组合物，其包括使流体可逆地吸附于其上的吸附剂，其中所述吸附剂包括选自由氧化钛、氧化锆、硅质岩、金属有机架构MOF材料及聚合物架构PF材料组成的群组的材料，其中所述流体包括用于制造半导体产品、平板显示器、太阳能面板或其组件或子组合件的流体，且其中当所述流体包括硅烷或乙硅烷时，所述吸附剂可额外地包括硅石。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于恩特格里斯公司，未经恩特格里斯公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680073124.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
