[发明专利]保持基板的保持布置、支撑基板的载体、沉积系统、保持基板的方法和释放基板的方法有效
| 申请号： | 201680075367.7 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN108474109B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 西蒙·刘 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;B23Q3/08;B65G49/06;C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容提供保持布置(100)。用于保持基板的保持布置(100)包括：主体部分(110)，所述主体部分(110)具有第一侧(112)；干燥粘合剂材料(120)，所述干燥粘合剂材料(120)设于主体部分(110)的第一侧(112)上；密封件(130)，所述密封件(130)环绕干燥粘合剂(120)并且经构造以在第一侧(112)上提供真空区域，其中干燥粘合剂(120)设于真空区域中；和导管(140)，所述导管(140)用于抽空真空区域。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 布置 支撑 载体 沉积 系统 方法 释放 | ||
【主权项】：
1.一种用于保持基板的保持布置，包括：主体部分(110)，具有第一侧(112)；干燥粘合剂材料(120)，设于所述主体部分(110)的所述第一侧(112)上；密封件(130)，环绕所述干燥粘合剂材料(120)并且经构造以在所述第一侧(112)上提供真空区域，其中所述干燥粘合剂材料(120)设于所述真空区域中；和导管(140)，用于抽空所述真空区域。
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