[发明专利]树脂薄膜的剥离方法及装置、电子装置的制造方法有效
| 申请号： | 201680077056.4 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN109315042B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 岸本克彥;田中康一 | 申请（专利权）人： | 鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;B65H41/00;G02F1/13;H01L21/683;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;薛晓伟 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 无需使用光照射，容易且不会对树脂薄膜等造成损伤地将树脂薄膜从支持基板剥离。进行将一面密着形成有树脂薄膜的支持基板分离为第一部分与第二部分的准备(S3)，在树脂薄膜密着于支持基板的第二部分的一面的状态下，使支持基板的第一部分与第二部分的至少第一部分侧的端缘以在垂直于第一部分的一面的方向上分离的方式相对移动的同时，使第一部分及第二部分的至少一个向平行于第一部分的一面的方向自由移动或强制移动(S4)。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 薄膜 剥离 方法 装置 电子 制造 | ||
【主权项】：
1.一种树脂薄膜的剥离方法，其将密着形成在支持基板的一面的树脂薄膜从所述支持基板剥离，其特征在于，包含：进行将所述支持基板分离为第一部分与第二部分的准备步骤；及在所述树脂薄膜密着于所述支持基板的所述第二部分的一面的状态下，使所述支持基板的所述第一部分与所述第二部分的至少所述第一部分的端缘以垂直于所述第一部分的一面的方向分离的方式相对移动的同时，使所述第一部分及第二部分的至少一个向平行于所述第一部分的所述一面的方向自由移动或强制移动的步骤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680077056.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于适配于管状灯配件的管状设备
- 下一篇：蒸镀掩模的制造方法及制造装置
