[发明专利]用于处理太阳能电池基板的设备、用于处理太阳能电池基板的系统和用于处理太阳能电池基板的方法在审
| 申请号： | 201680080794.4 | 申请日： | 2016-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN108604619A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚·贝茨尼;丹尼尔·吉斯隆;路易吉·德·桑蒂;马可·加里亚佐;马泰奥·贝塔佐 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 意大利圣比亚*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本公开内容提供用于处理太阳能电池基板(10)的设备(100)。设备(100)包括具有支撑面(112)的至少一个热装置(110)，该支撑面被配置为用于支撑和接触太阳能电池基板(10)，其中该至少一个热装置(110)被配置为用于进行传导热传递。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池基板 热装置 支撑面 导热 内容提供 配置 传递 支撑 | ||
【主权项】：
1.用于处理太阳能电池基板的设备，包括：至少一个热装置，具有支撑面，所述支撑面被配置为用于支撑和接触所述太阳能电池基板，其中所述至少一个热装置被配置为用于进行传导热传递。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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