[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201680081094.7 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108604060B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 中村惟允 | 申请（专利权）人： | 艾曲迪微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种正型感光性树脂组合物，其含有(a)聚苯并 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂组合物，其含有(a)聚苯并![]()
唑前体、(b)交联剂、(c)感光剂和(d)溶剂，所述(a)成分包含下述式(1)所表示的结构单元，所述(b)成分为下述式(2)所表示的化合物，![]()
式(1)中，U为2价有机基团、单键、‑O‑或‑SO2‑，V为包含脂肪族结构的基团，所述脂肪族结构的碳原子数为1～30，![]()
式(2)中，R1各自独立地为氢原子或‑CH2‑O‑R2所表示的基团，多个R1的至少一个为‑CH2‑O‑R2所表示的基团，R2各自独立地为氢原子或碳原子数1～6的烷基。
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